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碳化矽是由美國人艾奇遜在1891年電熔金剛石實驗時，在實驗室偶然發現的一種碳化物，當時誤認為是金剛石的混合體，故取名金剛砂，1893年艾奇遜研究出來了工業冶煉碳化矽的方法，也就是大家常說的艾奇遜爐，一直沿用至今，以碳質材料為爐芯體的電阻爐，通電加熱石英SIO2和碳的混合物生成碳化矽。
關於碳化矽的幾個事件
1905年 第一次在隕石中發現碳化矽。
1907年 第一隻碳化矽晶體發光二極管誕生。
1955年 理論和技術上重大突破，LELY提出生長高品質碳化概念，從此將SiC作為重要的電子材料。
1958年 在波士頓召開第一次世界碳化矽會議進行學術交流。
1978年 六、七十年代碳化矽主要由前蘇聯進行研究。到1978年首次采用“LELY改進技術”的晶粒提純生長方法。
1987年～至今以CREE的研究成果建立碳化矽生產線，供應商開始提供商品化的碳化矽基。
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